电子气体部分产品清单 | |||||
序号 | 产品 | 纯度 | 钢瓶规格/压力或重量 | 阀门型号 | |
1 | 乙硼烷 | 10%B2H6/H2 | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
2 | 磷化氢 | 10%PH3/Ar | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
3 | 硅烷 | 5%SiH4/He | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
4 | SiH4:5%+He | 6N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
5 | SiH4:5%+N2 | 5N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
6 | 三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L 50Kg | DISS634 |
7 | 八氟丙烷 | C3F8 | 5N | 44L 40Kg | DISS716 |
8 | 八氟环丁烷 | C4F8 | 5N | 44L 50Kg | DISS716 |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L 30Kg | CGA320 |
10 | CF4:80%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
11 | CF4:95%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
12 | 甲烷 | CH4 | 6N | 44L | CGA350 |
13 | 三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L 31Kg | DISS716 |
14 | CHF3 | 5N | 44L | CGA660 | |
15 | 氢气 | H2 | 6N | 44L 2000PSI | CGA350 |
16 | 一氧化二氮（氧化亚氮） | N2O | 5N | 47L 30Kg | DISS712 |
17 | 氨气 | NH3 | 7N | 47L 20Kg | DISS720 |
18 | NH3 | 5N | 44L 22.7Kg | CGA660 | |
19 | 六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L 50Kg | DISS716 |
20 | SF6 | 5N | 47L | CGA590 | |
21 | 二氯氢硅 | SiH2Cl2 | 5N | 44L 37Kg | DISS636 |
22 | 氯化氢 | HCl | 5N | 44L 22.7Kg | CGA330 |
