电子气体部分产品清单 | |||||
序号 | 产品 | 纯度 | 钢瓶规格/压力或重量 | 阀门型号 | |
1 | 乙硼烷 | 10%B2H6/H2 | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
2 | 磷化氢 | 10%PH3/Ar | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
3 | 硅烷 | 5%SiH4/He | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
4 | SiH4:5%+He | 6N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
5 | SiH4:5%+N2 | 5N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
6 | 三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L 50Kg | DISS634 |
7 | 八氟丙烷 | C3F8 | 5N | 44L 40Kg | DISS716 |
8 | 八氟环丁烷 | C4F8 | 5N | 44L 50Kg | DISS716 |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L 30Kg | CGA320 |
10 | CF4:80%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
11 | CF4:95%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
12 | 甲烷 | CH4 | 6N | 44L | CGA350 |
13 | 三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L 31Kg | DISS716 |
14 | CHF3 | 5N | 44L | CGA660 | |
15 | 氢气 | H2 | 6N | 44L 2000PSI | CGA350 |
16 | 一氧化二氮(氧化亚氮) | N2O | 5N | 47L 30Kg | DISS712 |
17 | 氨气 | NH3 | 7N | 47L 20Kg | DISS720 |
18 | NH3 | 5N | 44L 22.7Kg | CGA660 | |
19 | 六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L 50Kg | DISS716 |
20 | SF6 | 5N | 47L | CGA590 | |
21 | 二氯氢硅 | SiH2Cl2 | 5N | 44L 37Kg | DISS636 |
22 | 氯化氢 | HCl | 5N | 44L 22.7Kg | CGA330 |
一、磷化氢性质
1.能与氧气剧烈反应生成磷酸;它与大多数卤素反应生成五卤化磷、三卤化磷和氢卤酸的混合产物。
2.金属块燃烧产生磷酸盐,释放出氢气。
3.与铜、银、金及其盐反应。
4.混合物与空气的爆炸下限:1.79%(26 g/m3)。空气中的微量P2H4可以自燃,浓度达到一定水平时会发生爆炸。
5.500以上分解成磷和氢。
6.PH3具有很强的还原性,可以还原多种金属化合物,如硫酸铜溶液产生的Cu3P,硝酸银溶液产生的Ag。很多非金属化合物也可以用PH3还原,比如浓H2SO4还原成S和SO2。
7.在盐酸中,PH3能与甲醛反应,产品用作棉织物的阻燃剂。
8.微溶于水,水溶液呈弱碱性,碱性弱于氨
二、身体危害
磷化氢为人体吸收相当快的剧毒气体,主要由呼吸道吸入中毒。空气中浓度若达到1390mg/m3。可使人迅速死亡。 误服磷化钙、磷化铝、磷化锌后,可水解生成磷化氢,由肠道吸收中毒。磷化氢吸收后,除对呼吸道及胃肠道有局部刺激及腐蚀作用外,很快经过血液分布到肝、肾、脾等处,1h后可遍及全身,并由尿排出,少量经肺呼出。
磷化氢作用于细胞酶,影响细胞代谢,使其内窒息。故中枢神经系统、呼吸系统、心血管系统及肝、肾均受影响,以中枢神经系统受害最重、最早。
三、消防措施
适用灭火剂:无
灭火时可能遭遇之特殊危害:
1.有毒、可燃的气体会和空气和氧化剂形成爆炸物。
2.它会在空气中自燃。磷化氢钢瓶没有泄压设备,在火中可能爆炸。不要灭火 ,否则可能会重燃或爆炸。有毒、可燃的气体可能会喷出或扩散出来。爆炸性的气体会飘在周围。因此,进入泄漏区,特别是有限空间前必须用适当的设备监测空气。
特殊灭火程序:
1.从危险区疏散所有人。营救人员没有自给式呼吸器和防护服不得接近。
2.立即从最远的距离喷水,冷却钢瓶,不要去灭火。
3.水可能不起作用。在无危险的情况下移走火源。如有火焰意外被熄灭,可能会发生爆炸或重燃。
4.因此需使用适当的方法。如全部疏散以防止人员被钢瓶的碎片及有毒烟雾伤害。重新进入必须非常注意。用水减少有害蒸汽。
5.如有可能,切断气源,让火焰自然熄灭。燃烧产物为磷酸和水。用水控制磷酸蒸汽的扩散。磷酸比磷化氢毒性小。