电子气体部分产品清单 | |||||
序号 | 产品 | 纯度 | 钢瓶规格/压力或重量 | 阀门型号 | |
1 | 乙硼烷 | 10%B2H6/H2 | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
2 | 磷化氢 | 10%PH3/Ar | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
3 | 硅烷 | 5%SiH4/He | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
4 | SiH4:5%+He | 6N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
5 | SiH4:5%+N2 | 5N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
6 | 三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L 50Kg | DISS634 |
7 | 八氟丙烷 | C3F8 | 5N | 44L 40Kg | DISS716 |
8 | 八氟环丁烷 | C4F8 | 5N | 44L 50Kg | DISS716 |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L 30Kg | CGA320 |
10 | CF4:80%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
11 | CF4:95%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
12 | 甲烷 | CH4 | 6N | 44L | CGA350 |
13 | 三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L 31Kg | DISS716 |
14 | CHF3 | 5N | 44L | CGA660 | |
15 | 氢气 | H2 | 6N | 44L 2000PSI | CGA350 |
16 | 一氧化二氮(氧化亚氮) | N2O | 5N | 47L 30Kg | DISS712 |
17 | 氨气 | NH3 | 7N | 47L 20Kg | DISS720 |
18 | NH3 | 5N | 44L 22.7Kg | CGA660 | |
19 | 六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L 50Kg | DISS716 |
20 | SF6 | 5N | 47L | CGA590 | |
21 | 二氯氢硅 | SiH2Cl2 | 5N | 44L 37Kg | DISS636 |
22 | 氯化氢 | HCl | 5N | 44L 22.7Kg | CGA330 |
一、化学性质(易燃易爆品)
硅烷的着火和爆炸都是与氧气反应的结果。硅烷对氧和空气极为敏感。具有一定浓度的硅烷在- 180℃的温度下也会与氧发生爆炸反应。固体硅烷与液氧反应非常危险。避免强氧化剂,强碱,卤素。标准状态下气体密度为1.44g/L,液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸气压11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。红外光谱波长2191cm-1、914cm-1。在室温时为气体状态,在储存过程中,数月之内无显著分解。因为甲硅烷几乎不溶于润滑脂,可以储存在瓶塞涂有润滑脂的容器内。硅烷的化学性质比烷烃活泼得多,极易被氧化。在与空气接触时可发生自燃。25℃以下与氮不起作用,室温下与烃类化合物不起反应。与氧反应异常激烈,即使在-180℃温度下也会猛烈反应。硅烷与氟氯烃类灭火剂会发生激烈反应,所以不能用这类灭火剂灭火。爆炸极限为0.8%~98%。
二、身体危害:
1、眼接触:硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
2、吸入:1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病,这是由于存在结晶二氧化硅的原因。
3、暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。
4、皮肤接触:硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
5、慢性症状:如今不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。
6、过度暴露造成的病情恶化 :有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中会加重病情。
三、灭火措施:
适用灭火剂:切断气源灭火。用水雾减少空气中形成的燃烧产物。不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰中的钢瓶。