乙硼烷是最简单的硼烷。无色液体。液体密度0.4282g/cm3(沸点,101kPa)。气体密度1.947×10-3g/cm3(沸点,101kPa)。熔点-164.85℃。沸点-92.59℃。临界温度16.71℃。临界压力3.99MPa。180.6K液化。
乙硼烷化学性质相当活泼。可自燃,燃烧热很高。与水反应生成硼酸和氢气。与碱金属氢化物可形成越来越复杂的硼氢酸盐。与路易斯碱(L)形成B2H6L,然后再发生异裂或均裂。与烯烃发生加成反应,而端梢氢可被有机基取代或作为亲电子还原剂。用铝氢化钠与三氟化硼,或硼氢化钠与三氟化硼或氯化亚汞反应制取。用于制取纯硼或合成其他硼烷和含硼与氮、磷、砷键等的化合物的原料。常作有机反应还原剂、燃料添加剂和p型半导体材料的掺杂剂。
电子气体部分产品清单 | |||||
序号 | 产品 | 纯度 | 钢瓶规格/压力或重量 | 阀门型号 | |
1 | 乙硼烷 | 10%B2H6/H2 | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
2 | 磷化氢 | 10%PH3/Ar | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
3 | 硅烷 | 5%SiH4/He | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
4 | SiH4:5%+He | 6N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
5 | SiH4:5%+N2 | 5N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
6 | 三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L 50Kg | DISS634 |
7 | 八氟丙烷 | C3F8 | 5N | 44L 40Kg | DISS716 |
8 | 八氟环丁烷 | C4F8 | 5N | 44L 50Kg | DISS716 |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L 30Kg | CGA320 |
10 | CF4:80%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
11 | CF4:95%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
12 | 甲烷 | CH4 | 6N | 44L | CGA350 |
13 | 三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L 31Kg | DISS716 |
14 | CHF3 | 5N | 44L | CGA660 | |
15 | 氢气 | H2 | 6N | 44L 2000PSI | CGA350 |
16 | 一氧化二氮（氧化亚氮） | N2O | 5N | 47L 30Kg | DISS712 |
17 | 氨气 | NH3 | 7N | 47L 20Kg | DISS720 |
18 | NH3 | 5N | 44L 22.7Kg | CGA660 | |
19 | 六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L 50Kg | DISS716 |
20 | SF6 | 5N | 47L | CGA590 | |
21 | 二氯氢硅 | SiH2Cl2 | 5N | 44L 37Kg | DISS636 |
22 | 氯化氢 | HCl | 5N | 44L 22.7Kg | CGA330 |
一、乙硼烷与氢气混合气在太阳能产业中的应用
在晶体硅电池片生产中，扩散工艺用到POCl3 和 O2，减反射层等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4。薄膜太阳能电池则在沉积透明导电膜工序中用到二乙基锌（DEZn）、B2H6，在非晶/微晶硅沉积工序中用到硅烷等。
双结非晶硅太阳能薄膜光伏电池的技术是薄膜太阳能电池中最成熟的产物。其加工道理为运用硅烷（SiH4）等离子体分解法，经由在硅烷异化乙硼烷（B2H6）以及磷化氢（PH4）等气体，在低老本基板上（玻璃、不锈钢）高温成膜。其主要短处是资源低、制备利便、不质料瓶颈。
