六氟化硫(化学式SF6)是一种无色、无臭、无毒、不燃的惰性气体,常温常压下为气态,微溶于水、醚及醇。六氟化硫的密度为空气的五倍左右,所以吸入六氟化硫后的声音波长边长,频率变低,发出的声音会变得像男人(氦气正好相反,波长变短,频率变高,声音变得像女人)。但是请注意高浓度下六氟化硫会呼吸困难、喘息、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。我国规定:操作间空气中六氟化硫浓度不得大于6mg/m³(或空气中氧气含量大于18%);短期接触的话,空气中六氟化硫浓度不得大于7.5mg/m³。六氟化硫虽然是无毒的气体,但是在使用过程中会分解一些痕量的有毒的含氟化合物。
1、六氟化硫是新一代超高压绝缘介质材料,作为良好的绝缘气体广泛应用于电子、电气设备。
2、电子级六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,普遍应用于微电子技术领域,是电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
3、在光纤制备中,六氟化硫还可用作生产掺氟玻璃的氟来源。
4、在制造低损耗优质单模光纤中,六氟化硫用作隔离层的掺杂剂。在微电子中,可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物。
5、六氟化硫也可用作氮准分子激光器的掺加气体。
6、在气象环境检测及石油化工相关部门,六氟化硫可用作示踪剂,或制作标准混合气。六氟化硫是目前应用较为广泛的的测定大气污染的示踪剂,示踪距离克达100km。
7、在高压开关中,六氟化硫气体用作灭弧和大容量变压器和高压电缆的绝缘材料。
8、六氟化硫还可以用于核粒子加速器、各种加速器、超高压蓄电器、同轴电缆、避雷器X射线设备和微波传输的绝缘介质。
9、因为六氟化硫的化学稳定性好和对设备不腐蚀,在冷冻工业上也可用六氟化硫做为冷冻剂,代替氟利昂,操作温度在-45℃-0℃,SF6对臭氧层完全没有破坏作用,符合环保和使用性能要求,是一种很有发展潜力的制冷剂。
10、六氟化硫对α粒子有高速的停止能力,因此还可以用于放射化学。此外还可做为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
11、六氟化硫也可用作有色金属的冶炼和铸造工艺,可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。
密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
电子气体部分产品清单 | |||||
序号 | 产品 | 纯度 | 钢瓶规格/压力或重量 | 阀门型号 | |
1 | 乙硼烷 | 10%B2H6/H2 | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
2 | 磷化氢 | 10%PH3/Ar | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
3 | 硅烷 | 5%SiH4/He | 6N | 47L 150Bar | DISS632 |
4 | SiH4:5%+He | 6N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
5 | SiH4:5%+N2 | 5N/6N | 44L 1200PSI | CGA350 | |
6 | 三氯化硼 | BCl3 | 5N | 44L 50Kg | DISS634 |
7 | 八氟丙烷 | C3F8 | 5N | 44L 40Kg | DISS716 |
8 | 八氟环丁烷 | C4F8 | 5N | 44L 50Kg | DISS716 |
9 | 四氟化碳 | CF4 | 5N | 44L 30Kg | CGA320 |
10 | CF4:80%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
11 | CF4:95%+O2 | 5N/5N | 44L | CGA580 | |
12 | 甲烷 | CH4 | 6N | 44L | CGA350 |
13 | 三氟甲烷 | CHF3 | 5N | 44L 31Kg | DISS716 |
14 | CHF3 | 5N | 44L | CGA660 | |
15 | 氢气 | H2 | 6N | 44L 2000PSI | CGA350 |
16 | 一氧化二氮(氧化亚氮) | N2O | 5N | 47L 30Kg | DISS712 |
17 | 氨气 | NH3 | 7N | 47L 20Kg | DISS720 |
18 | NH3 | 5N | 44L 22.7Kg | CGA660 | |
19 | 六氟化硫 | SF6 | 5N | 47L 50Kg | DISS716 |
20 | SF6 | 5N | 47L | CGA590 | |
21 | 二氯氢硅 | SiH2Cl2 | 5N | 44L 37Kg | DISS636 |
22 | 氯化氢 | HCl | 5N | 44L 22.7Kg | CGA330 |